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原子層堆積（ALD）装置の専門知識で知られるオランダ企業SALD BVは、ガラス基板上に大面積ペロブスカイト太陽電池をパイロット生産するために特別に設計された革新的なシートツーシート空間ALDシステムを発表しました。この新システムは、最大1.2メートル×0.6メートルのガラスシートに対応し、最大1メートル/秒の処理速度を実現しており、拡張性において大きな進歩を遂げています。これらの仕様は顧客のパイロットラインの要件に密接に適合しており、ラボ規模の実験と商業生産の間のギャップを埋める実用的なツールとなります。.

商業生産および大型基板サイズ向けに設計

SALDの以前の2022システムは、グローブボックス環境内でのウェーハサイズのフォーマットに重点を置いていましたが、この新しいツールは、商業生産環境に典型的なオープン環境での動作向けに構築されています。より大きな処理能力を誇り、実際の製造環境に近い条件下で動作するように最適化されています。このアプローチにより、パイロットラインへのスムーズな統合が可能になり、品質やスループットを損なうことなくプロセスのスケールアップが容易になります。.

さまざまな太陽電池技術に対応する多用途機能層堆積

このツールの汎用性は、様々なタイプの太陽電池に不可欠な複数の機能性薄膜層を成膜できる能力に表れています。単接合ペロブスカイトデバイスでは、スズ酸化物（SnOₓ）およびニッケル酸化物（NiO）バッファ層、中間層または封止用のアルミニウム酸化物（AlOx）、そしてタンデム型太陽電池の再結合接合部におけるアルミニウムドープ酸化亜鉛（AZO）を成膜できます。これらの層はペロブスカイトベースのデバイスの性能と安定性に不可欠であり、特に温度に敏感なペロブスカイト光吸収体を損傷から保護する低温SALDプロセスの恩恵を受けます。.

ペロブスカイト以外にも、結晶シリコン太陽電池にも適しており、酸化アルミニウム（Al₂O₃）層や酸化ハフニウム（HfO₂）層を成膜できます。特に、酸化アルミニウムはフレキシブル太陽光発電の製造にも適用可能であり、このツールの適用範囲は新興の太陽光発電技術の幅広い分野に広がります。

スループットの向上と操作の簡素化によるコスト効率の向上

SALD社は、同社の空間ALDプラットフォームは、従来の真空蒸着法と比較して総所有コスト（TCO）を削減できると主張しています。主なコスト削減は、スループットの向上と複雑な真空インフラの排除によって実現され、運用の複雑さとメンテナンス費用が削減されます。同社の広報担当者がPV Magazineに説明したように、真空を必要としないこのスループット向上により、従来の真空蒸着装置よりも経済的で操作が容易になります。.

プロセスの均一性と再現性を備えたラボスケールからパイロット生産への橋渡し

このプラットフォームの開発は、研究室での研究からパイロット規模の製造へのスケールアップ時に直面する一般的なボトルネックを解消するために行われました。SALDのシステムは、商業生産をほぼ模倣した条件下でのプロセス開発を可能にするように設計されており、均一な薄膜堆積、高いスループット、そして再現性の高い結果を保証します。この機能は、ペロブスカイトおよび先進シリコン太陽電池技術の商業化を加速させることを目指すメーカーにとって極めて重要です。.

SALD BV: 産業用途向けALDシステムの革新

2019年に設立されたSALD BVは、原子層堆積（ALD）システムのリーディングカンパニーとして急速に地位を確立しました。製品ポートフォリオには、スループット、精度、そしてプロセス再現性を重視した、研究規模から量産規模の産業用システムまで、幅広い製品が含まれています。この新しい空間ALDツールにより、SALDは次世代太陽光発電をはじめとする産業用途における薄膜堆積の可能性をさらに広げていきます。.