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원자층 증착(ALD) 장비 분야의 전문성으로 잘 알려진 네덜란드 기업 SALD BV는 유리 기판 위에 대면적 페로브스카이트 태양광 소자를 시범 생산하기 위해 특별히 설계된 혁신적인 시트 대 시트 공간 ALD 시스템을 공개했습니다. 이 새로운 시스템은 확장성 측면에서 상당한 진전을 이루었으며, 최대 1.2m x 0.6m 크기의 유리 시트를 처리할 수 있고 초당 최대 1m의 처리 속도를 달성할 수 있습니다. 이러한 사양은 고객의 시범 생산 라인 요구 사항과 매우 유사하여 실험실 규모 실험과 상업 생산 사이의 격차를 해소하는 실용적인 도구가 될 것입니다.

상업용 생산 및 대형 기판 크기에 맞게 설계되었습니다

SALD의 이전 모델인 2022년형 시스템이 글러브박스 환경에서 웨이퍼 크기 포맷에 초점을 맞췄던 것과는 달리, 이 새로운 장비는 상용 생산 환경에서 흔히 볼 수 있는 개방형 환경에서의 작동을 위해 설계되었습니다. 더 큰 용량을 자랑하며 실제 제조 환경과 유사한 조건에서 작동하도록 최적화되어 있습니다. 이러한 접근 방식 덕분에 파일럿 라인에 더욱 원활하게 통합할 수 있으며, 품질이나 생산량을 저하시키지 않고 공정을 확장할 수 있습니다.

다양한 태양전지 기술에 적용 가능한 다목적 기능성 층 증착

이 장비의 다재다능함은 다양한 유형의 태양 전지에 필수적인 여러 기능성 박막층을 증착할 수 있는 능력에서 두드러집니다. 단일 접합 페로브스카이트 소자에서는 산화주석(SnOₓ) 및 산화니켈(NiO) 버퍼층, 중간층 또는 캡슐화층용 산화알루미늄(AlOx), 그리고 탠덤 태양 전지의 재결합 접합부에 알루미늄 도핑 산화아연(AZO)을 증착할 수 있습니다. 이러한 층들은 페로브스카이트 기반 소자의 성능과 안정성에 매우 중요하며, 특히 온도에 민감한 페로브스카이트 흡수층을 손상으로부터 보호하는 저온 SALD 공정의 이점을 누릴 수 있습니다.

페로브스카이트 외에도 결정질 실리콘 태양 전지에도 적합하며, 산화알루미늄(Al₂O₃) 및 산화하프늄(HfO₂) 층을 증착할 수 있습니다. 특히 산화알루미늄은 유연한 태양광 발전 장치 제조에도 적용 가능하므로, 이 장비는 다양한 신흥 태양광 기술 분야에서 활용도가 높습니다.

처리량 증대 및 운영 간소화를 통한 비용 효율성 향상

SALD는 자사의 공간 ALD 플랫폼이 기존 진공 증착 방식에 비해 총 소유 비용을 절감한다고 주장합니다. 주요 비용 절감 요인은 처리량 증가와 복잡한 진공 설비 제거로 인한 운영 복잡성 및 유지 보수 비용 절감입니다. 회사 대변인은 PV Magazine과의 인터뷰에서 진공 설비 없이 처리량을 향상시킴으로써 기존 진공 증착 장비보다 경제적이고 작동이 간편하다고 설명했습니다.

공정 균일성과 재현성을 통해 실험실 규모에서 파일럿 생산으로의 전환

이 플랫폼은 실험실 연구에서 파일럿 규모 생산으로 확장할 때 흔히 발생하는 병목 현상을 해결하기 위해 개발되었습니다. SALD의 시스템은 상업 생산 환경과 매우 유사한 조건에서 공정 개발을 가능하게 하도록 설계되어 균일한 박막 증착, 높은 처리량, 그리고 재현 가능한 결과를 보장합니다. 이러한 기능은 페로브스카이트 및 첨단 실리콘 태양광 기술의 상용화를 가속화하려는 제조업체에게 매우 중요합니다.

SALD BV: 산업용 애플리케이션을 위한 혁신적인 ALD 시스템 개발

2019년에 설립된 SALD BV는 원자층 증착(ALD) 시스템 분야의 선도적인 개발업체로 빠르게 자리매김했습니다. SALD의 제품 포트폴리오는 연구용 시스템부터 대량 생산 산업용 시스템까지 다양하며, 처리량, 정밀도 및 공정 재현성을 최우선으로 고려합니다. 이번 새로운 공간 ALD 장비를 통해 SALD는 차세대 태양광 발전 및 기타 산업 응용 분야를 위한 박막 증착 기술의 가능성을 더욱 확장해 나가고 있습니다.