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荷兰公司SALD BV以其在原子层沉积（ALD）设备领域的专业技术而闻名，近日推出了一款创新的片对片空间ALD系统，专为在玻璃基板上进行大面积钙钛矿太阳能电池的试生产而设计。这款新系统在可扩展性方面取得了显著进步，能够处理尺寸最大为1.2米×0.6米的玻璃片，并实现高达每秒1米的处理速度。这些规格与客户的试生产线要求高度契合，使其成为弥合实验室规模实验与商业化生产之间差距的实用工具。.

专为商业制造和较大尺寸基材而设计

与SALD公司2022年推出的、专注于手套箱环境下晶圆级加工的系统不同，这款新设备专为商业生产环境中常见的开放式操作而设计。它拥有更大的产能，并针对与实际生产环境高度相似的条件进行了优化。这种方法能够更顺畅地集成到中试生产线中，并有助于在不影响质量或产量的前提下扩大工艺规模。.

适用于各种太阳能电池技术的多功能层沉积

该工具的多功能性体现在其能够沉积多种功能性薄膜层，这些薄膜层对于不同类型的太阳能电池至关重要。在单结钙钛矿器件中，它可以沉积氧化锡 (SnOₓ) 和氧化镍 (NiO) 缓冲层，用于中间层或封装的氧化铝 (AlOx)，以及在串联太阳能电池的复合结处沉积铝掺杂氧化锌 (AZO)。这些薄膜层对于钙钛矿器件的性能和稳定性至关重要，尤其得益于低温选择性原子层沉积 (SALD) 工艺，该工艺能够保护对温度敏感的钙钛矿吸收层免受损伤。.

除了钙钛矿技术外，该系统也适用于晶体硅太阳能电池，可沉积氧化铝 (Al₂O₃) 和氧化铪 (HfO₂) 层。值得注意的是，氧化铝还可用于柔性太阳能光伏器件的制造，从而拓展了该工具在众多新兴太阳能技术领域的应用范围。

通过更高的吞吐量和简化的操作实现成本效益

SALD公司声称，与传统的真空气相沉积方法相比，其空间原子层沉积（ALD）平台可降低总体拥有成本。主要的成本节约源于更高的产能以及无需复杂的真空基础设施，从而降低了操作复杂性和维护费用。正如该公司发言人向《光伏杂志》（PV Magazine）解释的那样，这种无需真空即可实现更高产能的特性，使得该设备比传统的真空沉积设备更经济、更易于操作。.

通过工艺均一性和可重复性，将实验室规模与中试生产连接起来

该平台的开发旨在解决从实验室研究到中试规模生产过程中常见的瓶颈问题。SALD系统的设计目标是在高度模拟商业化生产的条件下进行工艺开发，从而确保薄膜沉积均匀、产量高且结果可重复。对于致力于加速钙钛矿和先进硅太阳能技术商业化的制造商而言，这项能力至关重要。.

SALD BV：为工业应用创新ALD系统

SALD BV成立于2019年，迅速成为原子层沉积系统领域的领先开发商。其产品组合涵盖科研级和高产能工业级系统，并优先考虑吞吐量、精度和工艺可重复性。凭借这款全新的空间ALD工具，SALD将继续突破薄膜沉积技术的极限，为下一代太阳能光伏器件和其他工业应用领域带来变革。.