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市场情景
半导体气体市场在2024年的价值为102.2亿美元,到2033年估计将达到178.6亿美元,在2025 - 2033年的预测期内,复合年增长率为6.4%。
由于高级半导体制造技术的迅速扩展,半导体气体市场正在全球范围内激增。半导体气体,例如三氟氮(NF3),硅烷(SIH4)和氯化氢(HCL),在蚀刻,沉积和清洁等过程中至关重要。市场正在反映出高纯气气体在最先进的芯片制造中的采用越来越多。值得注意的是,氮三氟化物被广泛用于清洁化学蒸气沉积室,而硅烷对于记忆和逻辑芯片中的薄膜沉积至关重要。美国和韩国是这些气体的主要消费者,韩国的半导体行业非常依赖NF3的先进记忆芯片生产。此外,日本和台湾是高纯气气体的主要开发商,诸如Air Products和Linde之类的公司主导供应链。
半导体气体市场增长的主要驱动力是晚期半导体节点的扩散,例如3nm和2nm芯片,这些芯片需要超高的纯度气体以确保无缺陷的制造。例如,台湾半导体制造公司(TSMC)已加强对极端紫外线(EUV)光刻的使用,这是低5nm芯片的关键过程。电动汽车(EV)和5G的兴起已大大增加了对特种气体(如六氟乙烷(C2F6)和氩气)的需求,这些需求用于蚀刻和血浆过程。在2024年,仅EV部门就占对半导体气体的需求的很大一部分,特别是在中国,EV生产的最高水平。其中,半导体气体主要部署在制造设施(FAB)中,以进行蚀刻,沉积和清洁等过程。这些气体对于存储和运输也至关重要,需要专门的低温系统才能保持纯度。半导体气体市场的最新发展包括诸如琳德(Linde)等公司引入现场散装气体供应系统,从而提高了效率并降低了Fabs的成本。美国,台湾和韩国仍然是最大的消费者,而日本和德国是高纯气气体的领先提供商。随着对先进芯片的需求在全球范围内持续增长,市场有望进一步增长。
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市场动态
驱动程序:高级半导体节点的扩散需要超高纯度气体
晚期半导体节点的扩散,例如3NM和2NM芯片,是半导体气体市场的主要驱动力。这些尖端的芯片需要超高的纯度气体,以确保无缺陷的制造和最佳性能。例如,TSMC和三星是晚期芯片生产的领导者,已大大增加了对氟化气体(NF3)(NF3)和六氟乙烷(C2F6)(C2F6)的使用,用于EUV光刻和质量蚀刻。在2024年,仅TSMC就其3NM生产线消耗了超过1,000吨的NF3,突出了这些气体在高级制造中的关键作用。同样,三星的2NM发育驱动了对硅烷(SIH4)和氯化氢(HCL)的需求,这对于薄膜沉积和清洁过程至关重要。
通过日益增长的AI和机器学习应用程序,需要高性能芯片,进一步推动了对半导体气体市场中这些气体的需求。例如,在AI应用中广泛使用的NVIDIA的GPU依赖于制造过程中需要超高纯度气体的晚期半导体节点。此外,汽车行业向电动汽车(EV)的转移增加了对氩气和氟化化合物(用于电力半导体制造)的特种气体的需求。 2024年,EV部门在全球范围内占500吨氩气消费,中国领导了电动汽车生产的指控。这种趋势强调了晚期半导体节点在推动对高纯气气体需求方面的关键作用。
趋势:现场散装气体供应系统革命性半导体制造
半导体气体市场的主要趋势是采用现场散装气体供应系统,这正在改变Fabs管理其气体需求的方式。 Linde和Air Products等公司引入了创新系统,允许半导体制造商直接在其设施中生产和存储高纯气气体。 2024年,琳德(Linde)在全球范围内部署了50多个现场系统,在台湾和韩国的集中度很高,TSMC和SK Hynix(例如TSMC和SK Hynix)在那里运行。这些系统降低了运输成本,最大程度地减少污染风险,并确保氮和氩等关键气体的一致供应。
在台湾,韩国和美国半导体气体市场等半导体产量的地区,这种趋势尤为突出。例如,TSMC在台湾的新2NM Fab配备了现场散装气体供应系统,每天生产10,000立方米的氮。同样,美国的英特尔工厂也采用了类似的系统来提高效率并降低环境影响。向现场生产的这种转变也是由半导体制造中可持续性需求不断增长的驱动。通过减少对运输和存储的需求,这些系统大大降低了晶圆厂的碳足迹。 2024年,现场系统占领先半导体区域总天然气供应的30%以上,这标志着该行业的天然气管理方法发生了重大变化。
挑战:在地缘政治紧张局势的情况下,确保稀有气体持续供应
半导体气体市场中最大的挑战之一是确保一致的稀有气体(如霓虹灯,krypton和Xenon)供应,这对于光刻和蚀刻过程至关重要。半导体气体市场的地缘政治紧张局势,尤其是俄罗斯和乌克兰之间,破坏了这些气体的全球供应链。乌克兰是霓虹灯的主要供应商,在冲突之前生产了全球70%以上用于半导体制造的霓虹灯。 2024年,持续的战争大大减少了乌克兰的霓虹灯出口,迫使半导体制造商寻求替代来源。例如,韩国的SK Hynix和三星已转向国内供应商,并投资了回收技术来减轻短缺的影响。
在半导体气体市场中,对高级半导体制造中稀有气体的需求不断增长,这一挑战进一步加剧了挑战。例如,对于低5nm芯片生产至关重要的ASML的EUV光刻机器需要稳定的高纯度霓虹灯供应。 2024年,ASML的客户在全球消耗了500吨的霓虹灯,强调了这些气体在高级制造中的关键作用。为了应对这一挑战,日本和美国等国家正在投资国内生产和回收技术。例如,日本的台湾日本Sanso加大了霓虹灯和Xenon的生产,以满足不断增长的需求。但是,确保一致的稀有气体供应仍然是半导体行业的重大挑战。
细分分析
按类型:电子特种气体控制近65%的市场份额
电子特种气体(包括氯,氨,硅化合物等)占据了半导体气体市场的份额,约占总消费量的65%。这种优势源于它们在构成2024年集成电路制造的基础的兴奋剂,蚀刻和沉积过程中的重要作用,高级逻辑节点需要超过的掺杂步骤,这些步骤依赖于基于氨的原料,以确保了99.9999%的纯度,从而确保了纯度与较旧的气体混合物相比,领先铸造厂的晶体管通道中的最小缺陷率最低可提高膜沉积均匀性高达40%,从而提高了设备的产量和性能。下一代包装技术(例如3D堆叠)已扩增使用氯化物来简化金属蚀刻步骤,在该步骤中,每个设备层可能会发生多达18个蚀刻周期。在逻辑和记忆方面的几何形状较小的推动力进一步加速了对高纯净的空间气体的需求,突显了这些材料在整个行业中的不可或缺性。
半导体气体市场中的主要消费者包括集成设备制造商(IDM)和与半导体铸造厂紧密合作的Fabless公司,所有这些公司都寻求一致且超高级的气流,以在2024年最大程度地提高收益率,至少有25个全球高级制造工具报告了高级制造工具采用内部净化系统以实现接近轨道污染物的检测。这种转变对于支持高性能计算,5G网络和AI应用程序的激增至关重要,所有这些应用程序都需要无法负担污染引起的故障的复杂芯片体系结构。结果,电子特种气体的生产商扩大了他们在开发专用包装的研发投资,使产品线对齐产品线,对高级掺杂和蚀刻的需求不断增长。根据2024年的行业数据,仅在亚洲,硅前体发货就增加了近120万升,增强了这些气体作为半导体创新背后的主要驱动力的地位。
按过程:室内清洁以在半导体气体市场份额中占30.7%
腔室清洁是半导体制造中的关键操作,因为必须从过程室中除去积累的残留物以保持底物纯度。在2024年,高级制造线报告说,钨,多硅酸盐和其他副产品等材料每晶片均可形成高达0.45克的沉积物,需要频繁清洁周期专用氟化气和其他化合物,显然是氮三氟乙烯(NF₃)作为领先的解决方案,由于其高清洁效率和可管理的环境概况,顶级铸造厂通常每月在一个300毫米工具集群上进行600多次清洁运行,这一数字强调了室内维护的巨大气体消耗范围。通过去除顽固的室内沉积物,这些气体还可以延长设备寿命,从而降低了蚀刻和沉积工具的停机费用。在较低温度(通常低于250°C)的较低温度下清洁的能力将这些气体与诸如基于等离子体的干洗剂等替代方法区分开来,这可能需要更高的能量输入和更长的操作周期。
在2024年,有记录在半导体气体市场中精选的晶圆厂专门用于常规腔室调理的总过程气体的25%,有助于确保没有缺陷的环境,确保稳定的设备性能。与此相一致的是,在2023年引入的新清洁化学表现显示残留物积累降低了12%,增强了总体生产吞吐量,同时保持了每千万亿美元的污染物水平。此外,正在进行的研究表明,某些专业的清洁气体可以将整个室内清洁时间减少约27秒,从而节省了每年数万美元的电力成本。这些操作效率对于产生7 nm和较小几何形状的尖端节点至关重要,剩余的污染物可以显着降低晶体管性能。随着全球芯片制造商需要更清洁的环境与摩尔定律保持同步,室内清洁气体已被证明是必不可少的,因此将自己视为优先的解决方案,而不是劳动密集型或效率更低的替代方案。
按应用:半导体组件捕获超过47.4%的市场
半导体组件制造在很大程度上取决于用于掺杂,钝化,氧化和相关过程的专业气体,以构建复杂的设备结构。生产DRAM和NAND芯片的存储晶圆厂报告了涉及基于气体操作的近150个制造步骤的扩展,这反映了复杂性的激增,因为层计数爬升了3D体系结构。半导体气体市场中的设备经常采用掺杂轮廓,需要分布离子,例如硼或磷,高纯磷酸或硼三氟化物的原料促进。这些原料必须符合以下10亿零件量化的纯度标准,以防止不必要的掺杂异常,以损害设备性能。此外,复合半导体的出现(在氮化炮(GAN)和碳化硅(SIC)中看到)增加了对特种气体(如三甲基甲)的依赖,以实现针对电力电子设备定制的特定电气和热特性。实际上,顶级动力芯片制造商已经记录了2024年上半年测试的至少22种新的掺杂气体变体,从而强调了对优化设备可靠性和效率的持续寻求。
该应用的半导体气体市场中的突出气体包括硅烷的外延生长硅烷,用于晚期沉积的二氯硅烷以及基于硝酸盐的氨的二氯硅烷,这些层支持从无线电频率(RF)设备到微型领导的显示器,这些层都支持一切。领先的设施现在运行多达80个外延周期,每个周期都需要精确维持±0.2%公差以内的部分压力。此外,2023年引入的新兴奋剂方法可以允许高光谱晶体管大门,其中专用气体将侧壁空隙的机会降低了60%。这种改进至关重要,因为更精致的频道结构出现在下一代移动和服务器处理器中。这些创新背后的动力源于对较高性能,较低功耗和较小形态的不断需求。因此,制造商正在投资高级气体混合系统,多层安全协议和实时纯度监控,以确保每个掺杂步骤都符合半导体组件的严格可靠性目标。
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区域分析
亚太捕获超过78%的半导体气体市场份额
亚太地区在台湾,韩国,中国和日本的铸造厂,综合设备制造商和设施网络上占据了全球半导体气体消费量。截至2024年,这些国家共同运营了85个以上的前端制造工厂,这些工厂依赖于蚀刻,沉积,运营的气体,该地区的强大供应链进一步扩大了当地的当地供应商,他们可以在短时间内提供专门的气体。根据行业调查,仅台湾的先进逻辑铸造厂就每季度就缩放了近1500万个晶圆,促进了对氟化物和硅前体的巨大需求。自2023年以来,韩国记忆制造商已经使用至少五个新的3D NAND生产线扩展了足迹,每个生产线都需要连续的氮三氟甲烷,硅烷和氨水来实现多层堆叠和精确的掺杂。与此相关的是,中国半导体企业继续增加300毫米工厂的项目,据报道在短短18个月内增加了6多个新工厂。这种战略性扩张强调了该地区对专门半导体气体的无与伦比的食欲,使亚太地区巩固为前沿芯片生产的中心。
亚太地区在半导体气体市场中的领导能力背后的动力是拥抱综合模型的关键行业参与者的集中度。 TSMC,Samsung和SK Hynix等公司不仅监督了晶圆工艺,还监督了旨在完善气体使用的研发计划,以缩小和提高产量。 2024年,一个日本制造商的财团报告了极端紫外线(EUV)光刻过程的局部气体净化技术的突破。这项已在其他四家地区公司获得许可的创新表示亚洲推动制造精度的信封的能力。同时,该地区在人才发展方面进行了大量投资,其中30多所专业大学提供了高级半导体课程,其中包括气体处理安全性和过程模拟。学术研究,政府激励措施以及多样化,蓬勃发展的私人公共合作伙伴关系的协同作用确保了稳定的新解决方案,这些解决方案涉及以下5 nm节点生产的复杂性。综上所述,这些因素解释了为什么超过四分之三的全球半导体气体通过亚太的工厂流动,从而为从移动设备到高性能计算的每个主要电子设备段推动了最先进的芯片。
半导体气体市场的顶级公司:
市场细分概述:
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报告属性 | 细节 |
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2024 年市场规模价值 | $ 10.22亿美元 |
2033 年预期收入 | 17.86亿美元 |
历史数据 | 2020-2023 |
基准年 | 2024 |
预测期 | 2025-2033 |
单元 | 价值(十亿美元) |
复合年增长率 | 6.4% |
涵盖的细分市场 | 按类型、按流程、按应用、按地区 |
重点企业 | 液化空气公司、空气产品公司、美国气体产品公司 (AGP)、林德集团、Gruppo SIAD、Indiana Oxygen Inc.、岩谷株式会社、住友精化化学有限公司、梅塞尔集团、三井化学公司、REC Silicon ASA、索尔维 SA,其他参与者 |
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